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1912年，德国人W.Gaede发明了世界上台分子泵，它的转子直径为50mm，转子上切有8个尺寸不同的槽，转速为12 000r/min，抽速约为1.5L/s。这种泵的工作原理与现代分子泵的工作原理一致，但由于故障多很快被淘汰，未能普及。

1.分析(质谱分析、电子显微镜等)

2.半导体(电子组件、集成电路、柔性太阳能电池等)

3.光学/玻璃(热保护,增透、反射、光学滤光膜)

4.镀膜(表面保护，装饰涂料，显示器，屏幕)

5.真空冶金(真空炉、真空钎焊、真空烧结、真空合金、)

6.泄漏检测(真空系统、车辆的油箱,安全气囊

7.研究实验(医学成像、核粒子物理，核聚变研究，激光应用和许多更多)

应用程序提供了对分子泵的远程控制功能，使您可以轻松简便的和监测泵的运行状态，查看泵的参数和参数变化曲线，如功率变化曲线，真空度变化曲线（如果安装有适配的真空计），这在您设计真空系统或抽气工艺时将会非常有用。您还可以通过该应用程序导出日志文件，并保存在手机上或通过邮件、短信等，与您的同事或安捷伦技术支持团队快速共享泵的信息和日志文件。除此之外，近些年还出现了多种新型分子泵，如可有效抽取水分子的低温型分子泵，可在强磁场、强腐蚀条件下工作的陶瓷分子泵，以及可实现无接触支撑、、高寿命的磁悬浮分子泵等。日志文件可以通过电子表格（excel）程序打开并查看，只需点击几下屏幕，就可以方便的进行沟通，这避免反复的询问和确认，开启了一种全新的交流方式。

由于涡轮分子泵对于气体的压缩比很好，因此工作时油蒸汽的回流问题基本可以忽略不计。涡轮分子泵的极限真空度能达到10-8Pa的数量级，抽速可以达到1000L/s，达到抽速的压力区间是1~10-8Pa之间，因此在使用时要以旋片机械泵作为其前级泵。上级叶片输送过来的气体分子又会收到下级叶片的作用继续被压缩到更下级。

分子泵在电动机的推动下高速运转，选用高频电源驱动电机，目地是获得较高的转速比。在分子结构流地区内，汽体分子结构与髙速转倒的叶片表层撞击，角动量传送给汽体分子结构，使一部分汽体分子结构在刚体表层的健身运动方位上，造成定项流动性而被排出来泵外，进而做到抽真空的目地。分子泵，我是公司新推出的第二代分子泵产品，主要针对工业真空领域进行全新的设计和优化升级，是国内首推的系列控制器一体化的工业真空分子泵产品。Agilent TV301联系方式

能够看得出，涡轮分子泵也是一种脚踏式机械泵，根据高速运转的多级别涡轮转子叶片和静止不动叶片的组成开展抽真空的，在分子结构流地区内对被抽汽体造成很高的发动机压缩比，进而得到 所必须的真空泵特性。涡轮分子泵限真空泵比扩散泵高，达到10-8pa。叶片高速旋转，其周边的线速度一般200~300m/s，相当于空气分子平均速率的一半。Agilent TV301联系方式